Lumas SOLID Масс-спектрометр для анализа твердофазных образцов

Lumas SOLID Масс-спектрометр для анализа твердофазных образцов 

Lumas SOLID – масс-спектрометр, предназначенный для прямого анализа твердофазных материалов. Он позволяет проводить элементный и изотопный анализ образцов, в том числе профилирование по глубине (послойный анализ).
Lumas SOLID – универсальный прибор для решения задач современного материаловедения.

ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ

• Научные исследования
• Материаловедение
• Металлургия
• Геология
• Атомная промышленность
• Производство полупроводников, микроэлектроника
• Экология

ПРИНЦИП ДЕЙСТВИЯ

Распыление и ионизация пробы происходят в плазме импульсного тлеющего разряда, затем ионы регистрируются в ортогональном времяпролетном масс-анализаторе. Основным механзмом ионизации атомов пробы является неселективная Пеннинговская ионизация метастабильными атомами разрядного газа (обычно Ar). В качестве разрядной ячейки используется комбинированный полый катод – вспомогательный цилиндрический катод из высокочистого металла (обычно Al или Ta) и прижимаемая к нему проба.

Такая конструкция позволяет анализировать плоские (монолитные или прессованные порошковые) пробы без каких-либо требований к их вакуумной плотности.
Отсутствует процедура растворения пробы.

ЭЛЕМЕНТНЫЙ АНАЛИЗ ТВЕРДЫХ ОБРАЗЦОВ

• Контроль микропримесей в сверхчистых материалах (металлы, сплавы, полупроводники, оптические кристаллы)
• Анализ геологических объектов (руда, почва)
• Определение относительного содержания элементов (U/Th, РЗЭ)
• Изотопный анализ
• Послойный анализ
• Контроль качества многослойных покрытий и тонких пленок
• Контроль пространственного распределения примесей
• Исследование процессов коррозии